中华人民共和国国家标准
电子级水 GB/T 11446.1—1997
Electronic grade water 代替 GB 11446.1—89
▲ 要求
电子级水的技术指标应符合表1的规定。
表1 电子级水的技术指标
指标\级别 |
EW—Ⅰ |
EWⅡ |
EW一Ⅲ |
EW—Ⅳ |
电阻率
MΩ·cm(25℃) |
18以上 (95%时间)
不低于17 |
15
(95%时间)
不低于13 |
12.0 |
0.5 |
全硅，最大值，μg/L |
2 |
10 |
50 |
1000 |
>lμm微粒数，最大值，个/mL |
0.1 |
5 |
10 |
500 |
细菌个数，最大值，个/mL |
0.0l |
0.1 |
10 |
100 |
铜，最大值，μg/L |
0.2 |
1 |
2 |
500 |
锌，最大值, μg/L |
0.2 |
1 |
5 |
500 |
镍，最大值，μg/L |
0.1 |
1 |
2 |
500 |
钠，最大值, μg/L |
0.5 |
2 |
5 |
1000 |
钾，最大值，μg/L |
0.5 |
2 |
5 |
500 |
氯，最大值，μg/L |
1 |
1 |
10 |
1000 |
硝酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
磷酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
硫酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
总有机碳，最大值，μg/L |
20 |
100 |
200 |
l000 |
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